സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് കാന്റിലിവേഴ്‌സ് പാഡിൽ
ഉൽപ്പന്ന വിശദവും അപ്ലിക്കേഷനും
വലിയ വേഫർ ലോഡിംഗ് ഫോഴ്സ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് SiSiC / SiC കാന്റിലിവർ പാഡിൽ / ബീം ഒരു റോബോട്ട് ഓട്ടോമാറ്റിക് ലോഡിംഗ്, ഹാൻഡ്‌ലിംഗ് സിസ്റ്റത്തിന് അനുയോജ്യമാണ്, കാരണം ഇതിന് സ്ഥിരമായ പ്രകടനവും ഉയർന്ന താപനിലയിൽ രൂപഭേദം വരുത്താത്തതും വലിയ വേഫർ ലോഡിംഗ് ഫോഴ്സും ഉണ്ട്. കാന്റിലൈവർ പാഡിലിന്റെ ഭാഗം ഒരു രൂപഭേദം കൂടാതെ സ്ഥിരതയുള്ളതിനാൽ, നിലവിലുള്ള ചൂള ട്യൂബുകൾ ഉപയോഗിച്ച് വലിയ വലിപ്പത്തിലുള്ള വേഫർ നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും. എൽ‌പി‌വി‌സി‌ഡി കോട്ടിംഗുമായി സമാനമായ താപ വികാസ ഗുണകത്തിന്റെ അടിസ്ഥാനത്തിൽ വലിയ വേഫർ ലോഡിംഗ് ഫോഴ്സ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സി‌സി‌സി / സി‌സി കാന്റിലൈവർ പാഡിൽ / ബീം പ്രയോഗിക്കാൻ കഴിയും, ഇത് അറ്റകുറ്റപ്പണികളും ശുചീകരണ ചക്രവും വളരെയധികം വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും മലിനീകരണത്തെ ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
പ്രതികരണ ബോണ്ടഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡിന്റെ സാങ്കേതിക പാരാമീറ്ററുകൾ RBSIC:
| ഇനം | യൂണിറ്റ് | ഡാറ്റ |
| ആപ്ലിക്കേഷന്റെ താപനില | ℃ | 1380 |
| സാന്ദ്രത | ജി / സെമി 3 | > = 3.02 |
| തുറന്ന പോറോസിറ്റി | % | <0.1 |
| മോയുടെ കാഠിന്യം | 13 | |
| വളയുന്ന ശക്തി | എം‌പി‌എ | 250 (20) |
| എം‌പി‌എ | 280 (1200 ℃) | |
| ഇലാസ്തികതയുടെ ഘടകം | Gpa | 330 (20) |
| Gpa | 300 (1200) | |
| താപ ചാലകത | പ / മ | 45 (1200 ℃) |
| താപ വികാസത്തിന്റെ ഗുണകം | കെ -1 * 10-6 | 4.5 |
| ആസിഡ് പ്രൂഫ് ആൽക്കലൈൻ | മികച്ചത് |
സവിശേഷതകൾ:
a. ഇത് ഉയർന്ന താപനിലയിൽ രൂപഭേദം വരുത്തുന്നില്ല, വേഫർ ലോഡിംഗ് ഫോഴ്സ് വലുതാണ്;
b. മികച്ച താപ ഷോക്ക് പ്രതിരോധവും നീണ്ട സേവന ജീവിതവും;
സി. കാന്റിലിവർ പാഡിലിന്റെ താപ വികാസ ഗുണകം വളരെ ചെറുതാണ്, ഇത് അറ്റകുറ്റപ്പണികളും ശുചീകരണ ചക്രവും വളരെയധികം നീട്ടുന്നു;
മലിനീകരണത്തെ ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുക
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് സെറാമിക് നിർമ്മിച്ച മറ്റ് ചൂള ഫർണിച്ചറുകൾ
റിയാക്ഷൻ സിൻ‌റ്റർ‌ഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വേഫർ ലോഡിംഗിനായി സി‌സി‌സി കാന്റിലിവർ പാഡിൽ കൂടാതെ, ആർ‌ബി‌സി‌സി / സിസിക് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബീമുകൾ, നോസൽ ട്യൂബുകൾ, സ്പൈറൽ നോസൽ ട്യൂബ്, സ്വിൽ നോസൽ ട്യൂബ്, ഓക്സൈഡ് ബോണ്ടഡ് എസ്‌ഐ‌സി സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ബാറ്റുകൾ / സെറ്റർ പ്ലേറ്റ്, ആർ‌ബി‌സി‌സി കൂളിംഗ് പൈപ്പുകൾ .
പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള RBSIC / SISIC സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ ധരിക്കുക
ഞങ്ങളുടെ RBSIC / SISIC സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് ഉൽ‌പ്പന്നത്തിന് മികച്ച വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, നീണ്ട സേവനജീവിതം എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങളുള്ളതിനാൽ, ഇത് പ്രോസസ് പൈപ്പുകളിലോ സൈക്ലോണുകളിലോ എളുപ്പത്തിൽ ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്യാൻ കഴിയുന്ന വെയർ റെസിസ്റ്റന്റ് ലൈനിംഗുകളാക്കി മാറ്റാം.
